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有兼顧薄膜方阻和透過率，濺射穩(wěn)定，不易結(jié)瘤
NiOx:X靶，配方多元化設(shè)計，可匹配直流和射頻電源，改善靶表面結(jié)瘤狀況
銅靶（高純無氧銅，氧含量低，晶粒尺寸?。?、銅鎳靶（有效改善Cu與TCO薄膜的附著力）、鉬合金靶（對銅原子、···
有效降低靶材成本，薄膜近紅外區(qū)透過率高
ICO（遷移率150+cm2/(V·s)）、IWO、IZO、AZO、SnOx小圓柱靶
遷移率120+cm2/(V·s)，薄膜方阻低，透過率高
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